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SBC-12 小溅射仪

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产品介绍:

SBC-12 小型离子溅射仪专为扫描电镜制作样品而设计的,它具有结构简单,使用方便等特点。本仪器不要求很高的真空度就可以对扫描电镜样品进行离子溅射或蒸碳膜,因此它可以作为扫描电镜样品镀膜的基本设备。

应用领域

该仪器用于扫描电镜的样品表面处理(镀膜)。

 

主要技术指标:

抽气系统:机械泵;

真空检测:皮氏计;

极限真空度:110-1 Pa

金靶尺寸:?58 mm;

溅射电压:1.6 KV;

试样台尺寸:?40 mm(可放 6 个样品杯);

玻璃罩尺寸:?114 mm x H130 mm。

性能:

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